您好!欢迎来到乐山希尔电子股份有限公司

ENGLISH 设为首页   | 加入收藏   | 中文   |
首页  > 新闻中心  > 公司动态

根据国务院第682号文《建设项目环境保护管理条例》、《中华人民共和国环境影响评价法》和《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》的有关规定,乐山嘉洋科技发展有限公司GPP芯片生产项目(一期)项目的有关信息公开如下:

一、建设项目名称及概要

(一)项目名称:乐山嘉洋科技发展有限公司GPP芯片生产项目(一期)项目

(二)项目概要:

建设单位:乐山嘉洋科技发展有限公司

建设地点:乐山市高新区南新路11

建设规模:主体工程(2F生产厂房1幢)、辅助工程、公用工程、仓储及其它。主要产品为GPP普通芯片、GPP快恢复整流芯片240万片/年,可控硅芯片150万片/年,实际建成GPP普通芯片、GPP快恢复整流芯片240万片/年。

投资规模:项目总投资11000万元。

二、建设项目对环境可能造成的影响及减轻不良影响的对策和措施

(一)废水

⑴生产废水

项目废水主要为芯片生产废水。根据生产工艺和废水水质特征,生产过程中产生的废水主要可分为含氨废水、含氟废水、含SS废水、含镍废水、酸碱废水(包括工艺酸碱废水、洗涤塔废水、一级RO过滤自然水)。

①工艺酸碱废水 排放量222.9t/d,连续排放。

主要来自芯片加工过程中使用硫酸、盐酸、硝酸等超纯试剂以及超纯水对生产硅片进行清洗的过程,包括对生产工具、容器、石英制品的清洗等。

单晶硅GPP芯片加工对硅片的清洁度要求极高,几乎每道工序都穿插有清洗工序,清洗介质使用高纯水或超纯试剂,包括硫酸、盐酸、氢氟酸等酸、氨水等碱。进入废水处理站处理后排入高新区污水处理厂。

②含氟废水  排放量1.8t/d,非连续排放。

主要来自腐蚀工序使用氢氟酸及用高纯水清洗过程,主要污染物为氟化物。

含氟废水的处理:含氟废水采用氟化钙絮凝沉淀法进行处理,即在pH8左右,向废水中投加过量CaCl2与废水中F-生成CaF2沉淀(加入适量絮凝剂以使废水中的氟化钙形成便于分离的矾花),当絮凝反应完成后,进行泥水分离,池底污泥由污泥泵抽到污泥浓缩池。浓缩后的污泥经压滤机压成含固量30%的泥饼,上清液进入废水处理站处理后排入高新区污水处理厂。

③含氨废水  排放量0.8t/d,非连续排放。    

主要来自清洗工序使用氨水,含氨量低,纳入含氟废水系统统一处理。

④废气洗涤塔排水  排放量1.6t/d,间歇排放。

对于芯片加工过程中排放的HFHCl、硫酸雾、NH3等酸碱废气,通过碱(酸)液喷淋吸收塔吸收处理,排放的废水为吸收塔中多次循环使用后的外排废水。纳入含氟废水系统统一处理。

⑤一级RO过滤自然水  排放量96.6t/d,间歇排放。

主要来自纯水站一级RO膜反渗透过滤水,主要污染物为酸、碱,少量用于废气洗涤塔使用,其余纳入含氟废水系统统一处理。

⑥浓含镍废水  排放量0.25t/d,间歇排放。

浓含镍废水交由青川县天运金属开发有限公司(危险废物经营许可证:川环危第510822027)回收处理。

⑦淡含镍废水排放量55t/d,非连续排放。

进入废水处理站处理后排入高新区污水处理厂。

⑵ 生活污水

生活污水排放量106t/d,主要来自厂区职工卫生间污水、职工食堂废水等,生活污水经预处理后,排入园区市政污水管网,进入乐山高新区污水处理厂处理。

(二)废气

本项目一期工程项目所排放的废气主要来源于:生产工艺过程包括清洗、腐蚀、去胶等使用氢氟酸、盐酸、硫酸、氨水等化学试剂挥发产生的酸性/碱性废气;涂胶、显影等工序产生有机溶剂废气。

本项目生产区的工艺排风分为三个系统:一般废气;酸、碱废气及有机废气排放系统。

1)一般废气

一般废气主要为设备运转期间产生的热废气和一般排气,车间设置排风系统,排放量21000 m3/h,直接经15米高排气筒排放。

2)酸碱废气

酸性废气来源于工艺流程中使用各种酸液对硅片的腐蚀、清洗过程,主要污染物为HFHClH2SO4HNO3等,碱性废气来源于腐蚀工序和工艺中使用氨水清洗等过程。设置1套酸碱废气处理系统,酸性废气、碱性废气一并通过废气喷淋塔处理后,由两根15米高排气筒排放。

废气处理系统主要由废气洗涤塔、通风机、排气管和加药系统等组成。废气先由排气管道输入废气洗涤塔,酸性废气、碱性废气相互中和处理后,废气经洗涤塔处理后排入大气。

3)有机废气

有机废气来源于涂胶、显影工序和各工序使用有机溶剂清洗过程,主要为含冰乙酸、光刻胶有机溶剂等有机废气,经过活性炭吸附后,屋顶15米高排气筒排放。

4)无组织排放

无组织排放是指排气筒高度小于15米或不通过排气筒的废气排放。

① 化学品的贮存过程

本项目化学品根据生产需要由供应商负责运输、供货,设置专门分区用于化学品的暂存。

② 化学品的使用过程

本项目生产车间大部分为洁净室,全封闭式操作,易挥发有机、无机废气分别抽取到相应废气净化系统中进行处理,再通过15米高排气筒排放。废气处理系统划分合理,覆盖面大,基本消除了工艺废气在使用过程中的无组织排放源;废气处理措施完善,系统的净化效率较高。

(三)噪声

项目噪声源分为动力设备和生产设备,生产设备位于厂房内,有较好的隔声作用。因此,主要噪声源为动力设备,包括冷冻机组、空压机、风机、水泵等。

生产设备采取减震、厂房隔声;动力设备采取减震、隔声、消声等降噪措施。

(四)固体废物

(1) 废光刻胶、废显定影液:来源于光刻和显定影工序,使用过的光刻胶和显定影液完全收集属危险废物,送有危险废物处理资质单位进行处置。

(2) 废机油:来源于设备维修保养过程中所更换的废机油,完全收集。属危险废物,送有危险废物处理资质单位进行处置。

(3) 废树脂:来源于纯水制水系统过程中的吸附及离子交换树脂,完全收集。属危险废物,送有危险废物处理资质单位进行处置。

(4) 废有机溶剂瓶:为玻璃或塑料制品,属危险废物,用于废有机溶剂包装,一并送有危险废物处理资质单位进行处置。

(5) 废活性碳:为有机废气吸附后产生,交由有资质单位进行处置。

(6) 废水处理污泥:经板框脱水机脱水处理后,获得含水率较低的泥饼,再外运。泥饼属危险废物,送有危险废物处理资质单位进行处置。

(7) 浓含镍废水:交由有危险废物处理资质单位进行处置。

8)废包装材料、废五金:为一般废物,由废品回收商收购。

三、环保设施处理效率

(1)废水治理设施

经验收监测:生产废水处理站废水中悬浮物、CODCrBOD5、氨氮、氟化物、镍等主要污染物排放低于《污水综合排放标准(GB8978-1996)》表1、表4三级标准限值。

(2)废气治理设施

经验收监测:各类废气主要污染物排放低于《大气污染物综合排放标准》GB162971996,表2标准限值。有机废气均符合验收标准《四川省固定污染源大气挥发性有机物排放标准》DB51/2377-2017,表一的要求。

(3)厂界噪声治理设施

    经验收监测:昼夜噪声监测值低于《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008))类标准限值。

(4)固体废物治理设施

经调查,该项目修建了规范的固体废物暂存库房,固体废弃物得到了妥善处置。

(二)污染物排放情况

(1)废水

项目污水处理站排放废水各项污染物浓度满足《污水综合排放标准(GB8978-1996)》表1、表4三级标准要求。

(2)废气

1#2#酸碱废气洗涤塔废气排气筒排放的废气中,氟化物、氯化氢、硫酸雾、氮氧化物排放浓度和排放速率均符合验收标准《大气污染物综合排放标准》GB162971996,表2二级标准的要求;3#有机废气排气筒排放的废气中,TVOCs排放浓度和排放速率均符合参照验收标准《工业企业挥发性有机物排放控制标准》DB12/524-2014的要求;在周界外3个废气无组织排放监控点氟化物、氯化氢、氮氧化物浓度均低于验收标准《大气污染物综合排放标准》GB162971996,表2标准限值。

(3)厂界噪声

项目各厂界环境噪声监测点昼夜监测值满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(G12348-20083类标准。

(4)固体废物

该项目产生的一般固体废弃物均按规定进行了妥善处置,危险废物均分类收集后,交具有危险废物处理资质的单位进行处置。

四、工程项目组成

本项目由主体工程、辅助工程、公用工程、仓储及办公生活设施组成。环评项目组成与实际建成项目组成对照见表43

43  环评项目组成与实际建成项目组成对照表

工程

类别

环评项目组成

实际建成项目组成

备注

建设内容

建设内容

1#生产厂房

全框架现浇结构,2F1层设置仓库、动力站等,2层布置一条GPP普通芯片生产线。分区布设曝光、清洗、光刻、切割、检验区等,

全框架现浇结构,2F1层设置仓库、动力站等,2层布置一条GPP普通芯片生产线。分区布设曝光、清洗、光刻、切割、检验区等,

一致

4#生产厂房

全框架现浇结构,4F1F设置仓库、动力站等,2F-4F布置3GPP快恢复整流芯片生产线。分区布设曝光、清洗、光刻、切割、检验区等,

未建

不一致

5#生产厂房

全框架现浇结构,4F1F设置仓库、动力站等,2F-4F布置3条可控硅芯片生产线。分区布设曝光、清洗、光刻、切割、检验区等,

未建

不一致

辅助用房及水泵房

1F1200m2,全框架现浇结构,内置空气净化系统、冷冻水系统、纯水系统等

1F1200m2,全框架现浇结构,内置空气净化系统、冷冻水系统、纯水系统等

一致

空气

净化系统

新风系统、洁净室空气循环系统

新风系统、洁净室空气循环系统

一致

/

冷冻水系统、空调热水系统、工艺设备冷却水系统

冷冻水系统、空调热水系统、工艺设备冷却水系统

一致

纯水系统

纯水站,纯水制备能力:50t/h,位于辅助设施用房

纯水站,纯水制备能力:20t/h,位于辅助设施用房

基本一致

排风系统

包括有机废气、酸性废气、碱性废气、一般废气等

包括有机废气、酸性废气、碱性废气、一般废气等

一致

生活污水预处理设施

生活污水处理(1×200m3),设计考虑希尔科技一并使用

生活污水处理(1×200m3),希尔科技一并使用

一致

废水

处理站

含氨废水、含氟废水、酸碱废水和含悬浮物废水等经预处理后,排入废水处理站进一步处理达标排放。

含氨废水、含氟废水、酸碱废水和含悬浮物废水等经预处理后,与淡含镍清洗水排入废水处理站进一步处理达标排放。

一致

废气处理系统

包括酸性废气、碱性废气、有机废气处理系统,

包括酸性废气、碱性废气、有机废气处理系统,

一致

废液收集系统

废显影液、废酸、废光刻胶、有机溶剂废液收集系统

废显影液、废酸、废光刻胶、有机溶剂废液、浓含镍废水收集系统

一致

供水

市政给水

市政给水

一致

供电

设配电房1座,内设备用柴油发电机

设配电房1座,内设备用柴油发电机

一致

排水

雨污分流体制

雨污分流体制

一致

供热

燃气锅炉2t/h

684KW空气源热水机组

不一致

道路绿化

绿化率30%

绿化率18.7%

不一致

办公楼

2F800m2,全框架现浇结构,用于办公

2F800m2,全框架现浇结构,用于办公

一致

综合楼

6F10830m2,全框架现浇结构,用于研发及企业管理

未建

不一致

倒班房

2栋,6F,建筑面积6000 m2全框架现浇结构

未建

不一致

食堂

与希尔电子共用,本项目不新建

与希尔电子共用,本项目不新建

一致

原料及成品库房

分别设置于厂房一层

分别设置于厂房一层

一致

危化学品库

位于4#车间东南侧外,单独设置,满足《危险化学品仓库建设及储存安全规范》

位于4#车间东南侧外,单独设置,满足《危险化学品仓库建设及储存安全规范》

一致

固废暂存

危险废物、一般废物分区暂存,分别位于生产厂房1层。

危险废物、一般废物分区暂存,单独建设

基本一致

五、环境影响报告书提出的环境影响评价结论

乐山嘉洋科技发展有限公司GPP芯片生产项目(一期工程)基本执行了环境影响评价制度和三同时制度,环保审批手续完备。该项目总投资11000万元,环保总投资659万元,占总投资的5.99%。该企业的主要环保治理设施基本按环评的要求来实施完成

验收监测期间,1#2#酸碱废气洗涤塔废气排气筒排放的废气中,氟化物、氯化氢、硫酸雾、氮氧化物排放浓度和排放速率均符合验收标准《大气污染物综合排放标准》GB162971996,表2二级标准的要求;3#有机废气排气筒排放的废气中,苯、甲苯、二甲苯、挥发性有机物排放浓度和排放速率均符合验收标准《四川省固定污染源大气挥发性有机物排放标准》DB51/2377-2017,表1的要求;在周界外3个废气无组织排放监控点氟化物、氯化氢、氮氧化物浓度均低于验收标准《大气污染物综合排放标准》GB162971996,表2标准限值;外排生产废水主要污染物排放浓度均满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表1、表4三级标准的要求;各厂界环境噪声监测点昼夜间噪声监测值均低于《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)表13类标准限值;该项目产生的一般固体废弃物均按规定进行了妥善处置,危险废物均分类收集后,交具有危险废物处理资质的单位进行处置;项目制定了环境保护管理制度和应急预案,落实了各项风险防范措施。

乐山嘉洋科技发展有限公司

                     201872

 

环境影响报告书简本的公示期限:

201875日至201882日的20个工作日

上一篇:已经是最后一篇了
下一篇:已经是第一篇了